[单选题]

在清洗硅片时常用到真空高温处理法,不是其优点是( )

A.由于硅片处于真空状态,因而减少了空气中灰尘的沾污

B.硅片表面可能吸附的一些气体和溶剂分子的挥发性增加

C.硅片可能沾污的一些固体杂质在真空高温条件下,易发生分解而除去

D.对一些复杂的容器或器件也能清洗

参考答案与解析:

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