[单选题]

以下选项中不是硅片清洗的作用的是?( )

A.在等离子边缘腐蚀中,如果有油污、水汽、灰尘和其他杂质存在,会影响器件的质量,清洗后质量大大提高

B.在硅片外延工艺中,杂质的存在会影响硅片的电阻率不稳定

C.在太阳能材料制备过程中,在硅表面涂一层具有良好性能的增反膜,有害的杂质离子进入二氧化硅层,会降低绝缘性能,清洗后绝缘性能会更好

D.硅片中杂质离子会影响P-N结的性能,引起P-N结的击穿电压降低和表面漏电,影响P-N结的性能

参考答案与解析:

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下面哪个不是硅片的清洗方法( )

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