光刻技术

[问答题] 什么是光刻加工技术？试简述光刻加工的原理和工艺流程。

[问答题] 阐述立体光刻技术的具体实现方法？

[问答题] 光刻中采用步进扫描技术获得了什么好处？

[问答题] 什么是负性光刻？正性光刻？

[名词解释] 光刻

[判断题] 最早应用在半导体光刻工艺中的光刻胶是正性光刻胶。A . 正确B . 错误

[问答题] 解释光刻胶显影。光刻胶显影的目的是什么？

[问答题] 什么叫光刻？光刻工艺质量的基本要求是什么？

[名词解释] 光刻三要素

[填空题] 微细加工工艺方法主要有：（），光刻加工，体刻蚀加工技术，面刻蚀加工技术，LIGA技术，（）和（）。