微细加工工艺方法主要有：（），光刻加工，体刻蚀加工技术，面刻蚀加工技术，LIGA技术，（）和（）。

[单选题]微细加工技术中的刻蚀工艺可分为下列哪两种（）。A . 离子束刻蚀、激光刻蚀B . 干法刻蚀、湿法刻蚀C . 溅射加工、直写加工

[问答题] 什么是光刻加工技术？试简述光刻加工的原理和工艺流程。

[单选题]硅微体刻蚀加工和硅微面刻蚀加工的区别在于（）。A . 体刻蚀加工对基体材料进行加工，而面刻蚀加工不对衬底材料进行加工；B . 体刻蚀加工不对基体材料进行加工，而面刻蚀加工对衬底材料进行加工；C . 体刻蚀加工可获得高纵横比的结构，而面刻蚀加工只能获得较低纵横比的结构；

[问答题] 高速加工加工技术

[名词解释] 高速加工技术

[名词解释] 精密加工技术

[问答题] 纳米加工技术

[名词解释] 超精密加工技术

[问答题] 简述煤炭加工技术？

[单选题]电子刻蚀加工主要是通过热效应对工件进行加工，而离子刻蚀加工主要是通过（）效应对工件进行加工。A . 撞击B . 溅射C . 注入D . 撞击、溅射