[单选题]离子注入层的深度主要取决于离子注入的()。A . 能量B . 剂量
[单选题]离子注入层的杂质浓度主要取决于离子注入的()。A . 能量B . 剂量
[问答题] 离子注入后为什么要退火?
[问答题] 离子注入后为什么要进行退火?
[问答题] 简述离子注入工艺中退火的主要作用?
[多选题] 离子注入的主要气体源中,剧毒的有()。A . 砷化氢B . 二硼化氢C . 四氟化硅D . 三氟化磷E . 五氟化磷
[单选题]早期,研究离子注入技术是用()来进行的。A . 重离子加速器B . 热扩散炉C . 质子分析仪D . 轻离子分析器
[单选题]离子注入使金属材料表层合金化,将会()。A . 降低硬度B . 降低耐磨性C . 降低耐腐蚀性D . 提高耐腐蚀性