[单选题]

电子刻蚀加工主要是通过热效应对工件进行加工,而离子刻蚀加工主要是通过()效应对工件进行加工。

A . 撞击

B . 溅射

C . 注入

D . 撞击、溅射

参考答案与解析:

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