[填空题]

热分解化学气相淀积二氧化硅是利用()化合物,经过热分解反应,在基片表面淀积二氧化硅。

参考答案与解析:

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二氧化硅的制备方法很多,其中最常用的是高温()、()淀积、PECVD淀积。

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