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[单选题]

溅射法是由（）轰击靶材表面，使靶原子从靶表面飞溅出来淀积在衬底上形成薄膜。

A . 电子

B . 中性粒子

C . 带能离子

参考答案与解析：

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（）是指每个入射离子溅射出的靶原子数。

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