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[多选题]

微电子领域内，下列测厚仪中属于有台阶的测厚仪为（）。

A . 台阶仪

B . 干涉显微镜

C . 光切显微镜

D . 扫描电镜

E . 椭偏仪

参考答案与解析：

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