[多选题]

对于非晶靶,离子注入的射程分布取决于()。

A . 入射离子的能量

B . 入射离子的质量

C . 入射离子的原子序数

D . 靶原子的质量、原子序数、原子密度

E . 注入离子的总剂量

参考答案与解析:

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