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集成电路制造工艺员三级
集成电路制造工艺员
[多选题]
在深紫外曝光中,需要使用CA光刻胶,它的优点在于()。
A . CA光刻胶对深紫外光吸收小
B . CA光刻胶将吸收的光子能量发生化学转化
C . CA光刻胶在显影液中的可溶性强
D . 有较高的光敏度
E . 有较高的对比度
参考答案与解析:
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