什么是离子注入时的沟道效应？列举出三种控制沟道效应的方法？

[名词解释] 离子注入的沟道效应

[问答题,论述题] 什么是离子注入中常发生的沟道效应（Channeling）和临界角？怎样避免沟道效应？

[问答题] 什么是沟道效应？抑制方法？

[名词解释] 沟道效应

[问答题] 简述沟道效应的含义及其对离子注入可能造成的影响如何避免？

[名词解释] 短沟道效应

[名词解释] 窄沟道效应

[名词解释] 短沟道效应（Short Channel Effect）

[问答题] MOS晶体管的短沟道效应是指什么，其对晶体管有什么影响？

[问答题,论述题] 什么是离子注入的横向效应？同等能量注入时，As和B哪种横向效应更大？为什么？