离子注入的沟道效应

[问答题] 什么是离子注入时的沟道效应？列举出三种控制沟道效应的方法？

[问答题,论述题] 什么是离子注入中常发生的沟道效应（Channeling）和临界角？怎样避免沟道效应？

[问答题] 简述沟道效应的含义及其对离子注入可能造成的影响如何避免？

[名词解释] 沟道效应

[名词解释] 短沟道效应

[名词解释] 窄沟道效应

[名词解释] 短沟道效应（Short Channel Effect）

[问答题] 什么是沟道效应？抑制方法？

[名词解释] 离子注入

[单选题]离子注入层的深度主要取决于离子注入的（）。A . 能量B . 剂量