刻蚀剖面指的是（），有两种基本的刻蚀剖面（）刻蚀剖面和（）刻蚀剖面。

[判断题] 各向异性的刻蚀剖面是在所有方向上（横向和垂直方向）以相同的刻蚀速率进行刻蚀。A . 正确B . 错误

[名词解释] 刻蚀

[单选题]剖面图有（）和重合剖面两种。A .断裂剖面B .全剖面C .半剖面D .移出剖面

[判断题] 刻蚀速率通常正比于刻蚀剂的浓度。A . 正确B . 错误

[多选题] 下列组合中哪一种基本上用于刻蚀前者的干刻蚀法大都可以用来刻蚀后者（）。A . 二氧化硅氮化硅B . 多晶硅硅化金属C . 单晶硅多晶硅D . 铝铜E . 铝硅

[填空题] 在干法刻蚀中发生刻蚀反应的三种方法是（）、（）和（）。

[名词解释] 刻蚀模

[判断题] 剖面图有移出面和重合剖面两种形式。A . 正确B . 错误

[单选题]硅微体刻蚀加工和硅微面刻蚀加工的区别在于（）。A . 体刻蚀加工对基体材料进行加工，而面刻蚀加工不对衬底材料进行加工；B . 体刻蚀加工不对基体材料进行加工，而面刻蚀加工对衬底材料进行加工；C . 体刻蚀加工可获得高纵横比的结构，而面刻蚀加工只能获得较低纵横比的结构；

[单选题]甲说：剖面根据画在图上的位置不同，可分为移出剖面和重合剖面两种；乙说：重合剖面的轮廓用粗实线绘制。（）A . 甲正确，乙不正确B . 甲不正确，乙正确C . 甲、乙都正确D . 甲、乙都不正确