[填空题] 光刻包括两种基本的工艺类型:负性光刻和(),两者的主要区别是所用光刻胶的种类不同,前者是(),后者是()。
[问答题] 什么叫光刻?光刻工艺质量的基本要求是什么?
[问答题] 解释光刻胶显影。光刻胶显影的目的是什么?
[问答题] 什么是光刻加工技术?试简述光刻加工的原理和工艺流程。
[判断题] 最早应用在半导体光刻工艺中的光刻胶是正性光刻胶。A . 正确B . 错误
[判断题] 对正性光刻来说,剩余不可溶解的光刻胶是掩膜版图案的准确复制。A . 正确B . 错误
[问答题] 光刻和刻蚀的目的是什么?