[问答题] 解释光刻胶显影。光刻胶显影的目的是什么?
[问答题] 刻蚀及去PSG的目的是什么?
[问答题] 什么叫光刻?光刻工艺质量的基本要求是什么?
[判断题] 有光刻胶覆盖硅片的三个生产区域分别为光刻区、刻蚀区和扩散区。A . 正确B . 错误
[问答题] 在硅片制造中光刻胶的两种目的是什么?
[填空题] 微细加工工艺方法主要有:(),光刻加工,体刻蚀加工技术,面刻蚀加工技术,LIGA技术,()和()。
[判断题] 光刻的本质是把电路结构复制到以后要进行刻蚀和离子注入的硅片上。A . 正确B . 错误
[问答题] 干法刻蚀有哪几种?相应的内容是什么?
[问答题] 什么是负性光刻?正性光刻?