离子注入后为什么要进行退火？

[问答题] 离子注入后为什么要退火？

[问答题] 简述离子注入工艺中退火的主要作用？

[名词解释] 离子注入

[问答题] 黄铜管棒拉伸后为什么要及时退火？

[问答题,论述题] 什么是离子注入的横向效应？同等能量注入时，As和B哪种横向效应更大？为什么？

[单选题]离子注入层的深度主要取决于离子注入的（）。A . 能量B . 剂量

[单选题]离子注入层的杂质浓度主要取决于离子注入的（）。A . 能量B . 剂量

[问答题] 离子注入表面改性

[问答题,论述题] 热退火用于消除离子注入造成的损伤，温度要低于杂质热扩散的温度，然而，杂质纵向分布仍会出现高斯展宽与拖尾现象，解释其原因。

[单选题]早期，研究离子注入技术是用（）来进行的。A . 重离子加速器B . 热扩散炉C . 质子分析仪D . 轻离子分析器