光刻

[问答题] 什么是负性光刻？正性光刻？

[问答题] 光刻技术

[判断题] 最早应用在半导体光刻工艺中的光刻胶是正性光刻胶。A . 正确B . 错误

[问答题] 解释光刻胶显影。光刻胶显影的目的是什么？

[问答题] 什么叫光刻？光刻工艺质量的基本要求是什么？

[名词解释] 光刻三要素

[问答题,论述题] 浸没式光刻机相对于传统的光刻机有何不同。

[问答题] 什么是光刻加工技术？试简述光刻加工的原理和工艺流程。

[问答题] 简述光盘制作的光刻。

[名词解释] ULSI对光刻的要求